晶圓光刻膠去除能用妖精视频网页版機嗎?該使用哪種設備?
文章導讀:在半導體行業中,晶圓清洗是一個必不可少的環節,其中晶圓殘留光刻膠的去除,就能夠用妖精视频网页版機進行處理的。那麽晶圓光刻膠去除所用的妖精视频网页版設備該用哪種呢?
在晶圓光刻膠去除的實際應用中,基本都會采用感應耦合式的真空低壓妖精视频网页版機,這種類型的妖精视频网页版機仿佛也逐漸成為半導體行業的專屬,那麽這類妖精视频网页版設備的結構和一般常見的等離子處理設備有什麽不同的地方呢?

妖精视频网页版機感應放電等離子體是通過將射頻功率加在一個非共振線圈上產生的。因此該種妖精视频网页版機的常見結構主要有兩種,都適用在低長寬比的放電係統中。其中一種常見結構是螺旋型結構,采用的是圓筒螺旋狀線圈類型,如下圖所示。

另一種常見結構是盤香型結構,采用的是平麵盤繞狀線圈類型如下圖所示。

此外,有一種較為特別的盤香型結構是將盤繞狀線圈加入等離於體內部的放電類型,其結構如下圖所示。

感應耦合式的妖精视频网页版設備具有較為特別的基本原理和特點,因此在設計過程中要對工藝和效率進行把控,才能保證良好的妖精视频一区二区三区视频效果。在此簡單提一點,用於處理LCD液晶屏的妖精视频网页版機,就是使用的內置盤繞狀線圈感應生成等離子體。
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