一種半導體電漿機的製作方法
本發明涉及電漿機技術領域，尤其涉及一種半導體電漿機。半導體等離子機也叫等離子刻蝕機。等離子蝕刻是最常見的幹蝕刻形式。其原理是暴露在電子區的氣體形成等離子體，產生的電離氣體和高能電子組成的氣體被釋放，從而形成等離子體或離子。當電離的氣體原子被電場加速時，它們會釋放出足夠的力來緊緊地附著在材料上或蝕刻表麵。目前，半導體電漿機需要在真空環境下進行刻蝕，但現有電漿機密封效果差，導致空氣中的氧化氣體進入電漿機，導致半導體表麵刻蝕不均勻，使用不方便。鑒於此，妖精视频大全免费提出一種半導體電漿機。
本發明的目的是提供一種半導體等離子電漿機，以解決上述背景技術中提出的半導體電漿機密封效果差的問題。為了實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：一種半導體電漿機，包括電漿機體，所述電漿機體的正麵設有顯示屏，所述顯示屏下方設有控製麵板，所述電漿機體的上表麵設有通孔，所述顯示屏一側的電漿機體的正麵設有蝕刻室， 通孔與蝕刻室連通，電漿機體的上表麵設有真空泵。 真空泵通過第一螺栓與電漿機體的上表麵固定連接；真空泵的輸出端設有排氣管；排氣管的一端通過通孔伸入蝕刻室；滾筒安裝在等離子機體下表麵的四個角上。排氣管與通孔的連接處設有法蘭，法蘭上設有多個第二螺栓，法蘭通過第二螺栓與電漿機體的上表麵固定連接。法蘭與通孔的連接處設有墊圈。矩形塞的橫截麵尺寸與矩形槽的尺寸相匹配，矩形塞通過矩形槽與空心密封墊相插配。倉門的正麵設有窗戶。門靠近顯示屏的一側設有弧形凹槽，電漿機體的正麵與氣缸緊密焊接，氣缸的一端與轉軸緊密焊接，轉軸上設有限位器，限位器的一端設有圓孔，另一端與限位柱緊密焊接。轉軸穿過圓孔，擋塊通過轉軸與氣缸轉動連接。限位柱通過弧形槽與倉門滑動連接。弧形槽的中心角度設置為90-120度。
與現有技術相比，本發明的有益效果是：倉門關閉後，通過轉軸轉動限位器，使限位器一端的限位柱滑入弧形槽的另一端，限位柱在蝕刻倉的開啟位置扣合倉門，使限位柱對倉門起到一定的限位作用，從而實現倉門的關閉；同時，矩形塞通過矩形槽與中空密封墊插入配合，提高倉門與刻蝕倉連接處的密封效果，防止空氣中的氧化氣體進入刻蝕倉，提高半導體表麵的刻蝕均勻性，解決半導體電漿機密封效果差的問題。
妖精视频大全免费推薦
行業資訊
- 美成熟製程芯片低價衝擊國內市場 商務部：將依法啟動調查
- 醫療導管等離子蝕刻機介紹
- 昆山妖精视频大全免费通過高新技術企業重新認定
- 我國新能源汽車銷量蟬聯全球第一，新能源汽車促進妖精视频网页版機表麵處理事業發展！
- 蘋果發布兩顆芯片：M2 Pro 和 M2 Max，妖精视频网页版機能夠應用在上麵嗎？
- 2022年硬盤出貨量：大幅下跌，接近腰斬，這對妖精视频网页版機有什麽樣影響呢？
- 博世在蘇州投資建立新能源汽車核心部件及自動駕駛研發製造基地，促進妖精视频网页版機行業發展！
- 2022年汽車銷量2686.4萬，新能源市場占有率達到25.6%，妖精视频网页版機的能夠帶來什麽變化？
- 確保芯片供應充分，重塑汽車產業集群，妖精视频网页版機成為汽車領域的一員呢？
- 電子後視鏡正式在我國獲批，新的市場出現，妖精视频网页版機能夠做哪些工作呢？
蘇公網安備 32058302002178號
