低壓真空等離子設備用於真空氣路的控製閥如何分類？
文章導讀：低壓真空等離子設備能夠在真空的環境下進行材料妖精视频一区二区三区视频的設備，設備的激發頻率、激發能量、真空度、氣體流量、腔體結構、氣體特性都是設備的基本參數。真空氣路控製的控製閥能夠實現對氣路的通斷，從而控製真空度及其他參數。
用於低壓真空等離子設備真空氣路控製的控製閥，主要可分為三種，分別是高真空氣動擋板閥、電磁真空帶充氣閥、手動高真空角閥，它們的工作原理大致相同，基本都可以通過控製閥來實現真空氣路的通與斷以及測壓的功能，保障設備可靠穩定地運行，不同的是其各自所適用的設備種類有所區別。
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一、高真空氣動擋板閥
高真空氣動擋板閥也稱GDQ，一般情況下低壓真空等離子設備在短時間待機的情形下，真空泵會保持運行的狀態，高真空氣動擋板閥可用於接通以及切斷真空管路中的氣流，從而能夠實現真空腔體內抽真空過程的開啟和關閉。高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，具有運行穩定可靠、維護方便的優點，是三類真空氣路控製閥中應用較為廣泛的一種。
二、電磁真空帶充氣閥
電磁真空帶充氣閥屬於電磁閥類的控製閥，主要使用在真空泵隨運行參數而開啟的低壓真空等離子設備上。工作原理是：當真空泵開始運行，電磁真空帶充氣閥隨之打開，當真空泵關閉，此時閥門線圈斷電，閥門依靠機械力而關閉，可以防止真空泵內油氣因真空腔體內負壓而被倒吸。
電磁真空帶充氣閥具有安裝簡單的優點，但穩定性相對較差，如果長時間使用，閥門的磁力會衰退， 同時複位彈簧也容易出現反應遲緩的情況，目前這類控製閥大多是被應用於實驗型的低壓真空等離子設備。
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