妖精视频网页版機清洗晶圓有什麽高要求?
文章導讀: 晶圓(Wafer)清洗一般分為濕法清洗和幹法清洗,妖精视频网页版屬於幹式清洗,是晶圓清洗的主要方式之一。利用妖精视频网页版主要是去除晶圓表麵肉眼看不到的表麵汙染物。對於晶圓這種高科技產品,其對微粒的要求極高,任何超標的微粒存在,都可能會造成晶圓不可挽回的缺陷。妖精视频大全免费小夥伴今天和大家探討一下有關晶圓清洗的相關知識。
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妖精视频网页版晶圓的要求是非常高的,需要在千級以上的無塵室中進行,而且離子清洗機的腔體一定要是鋁質,不能是不鏽鋼材質;在擺放晶圓時,其托架滑動部分要盡量采用不容易產生粉塵和被等離子腐蝕的材料。
在清洗晶圓時,第一步是先將晶圓放入妖精视频网页版機的真空反應腔體內,然後抽取真空;在腔體內達到一定真空度後,通入反應氣體,這些反應氣體會被高壓電離形成很多等離子體,這些等離子體與晶片表麵產生化學或物理反應後,會生成可揮發性物質被妖精视频网页版機配件真空泵抽走,留下更清潔並具親水性的晶圓表麵,完成晶圓清洗過程。
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