妖精视频网页版機處理二氧化矽薄膜材料的過程是什麽樣的？
文章導讀：在使用妖精视频网页版機的等離子工藝對材料進行輔助處理的過程中，氣相和固體表麵上發生的化學反應起到了關鍵性的作用。低溫妖精视频一区二区三区视频機在刻蝕二氧化矽薄膜時也是如此，妖精视频一区二区三区视频設備的典型反應器中的發生過程如下圖所示。這裏所標注的通入氣體是四氟化碳和氧氣的混和物，等離子體由射頻或微波電場激發。
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電子碰撞電離過程產生了各種離子，如CF3+、CF2+、O2+、O-和F-等；而電子碰撞分解過程產生了CF3、CF2、O和F等自由基。在氣相中和在二氧化矽表麵上發生的化學反應會產生另外一些分子，如CO、CO2、SiF2和SiF4等。這些粒子的濃度和能量分布影響著妖精视频一区二区三区视频機反應器的性能指標，如刻蝕速率、各向異性指數和選擇性等。
一些普通物理化學過程決定了這些粒子的濃度。這些過程包括電子-離子對的產生；自由基的產生；負離子的產生；氣相化學反應；離子向表麵的輸運；自由基向表麵的輸運；表麵相反應。整個反應的過程用式子可以分別表達如下。
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