半導體封裝妖精视频网页版設備的基本技術原理是什麽?
文章導讀：半導體器件生產過程中，受材料、工藝以及環境的影響，晶圓芯片表麵會存在肉眼看不到的各種微粒、有機物、氧化物及殘留的磨料顆粒等沾汙雜質，而妖精视频网页版是zui適合的工藝方法。
在不破壞晶圓芯片及其他所用材料的表麵特性、熱學特性和電學特性的前提下，清洗去除晶圓芯片表麵的有害沾汙雜質物，對半導體器件功能性、可靠性、集成度等顯得尤為重要；否則，它們將對半導體器件的性能造成致命缺陷和影響，極大地降低產品良率，並將製約半導體器件的進一步發展。妖精视频网页版的基本技術原理如下：
1、在密閉的真空腔體中，通過真空泵不斷抽氣，使得壓力值逐漸變小，真空度不斷提高，分子間的間距被拉大，分子間作用力越來越小，利用等離子發生器產生的高壓交變電場將Ar、H2、N2、O2、CF4等工藝氣體激發、震蕩形成具有高反應活性或高能量的等離子體，進而與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質，由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表麵清潔、活化、刻蝕等目的。如下圖所示：
2、妖精视频网页版並不會破壞被處理的材料或者產品的固有特性，發生改變的僅僅是表麵納米級的厚度，被清洗的材料或產品表麵汙染物被去除，分子鍵打開後極其微小的結構變化，形成一定的粗糙度或者是在表麵產生親水性的官能基，使得金屬焊接的可靠性增強、不同材料之間的結合力提高等，從而提高產品的信賴度、穩定性，延長產品的使用壽命。
3、半導體封裝妖精视频网页版根據其反應類型可分為以下三種：
a.物理反應的清洗：利用Ar等惰性氣體輕易不與其他物質發生反應，離子質量比較重，對材料表麵進行物理轟擊，清除汙染物或將高分子的鍵結打斷，形成微結構粗糙麵。
例：Ar＋e- →Ar＋＋2e- Ar＋＋沾汙→揮發性沾汙
Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產生動能，然後轟擊在放在負電極上的被清洗工件表麵，一般用於去除氧化物、環氧樹脂溢出或是微顆粒汙染物，同時進行表麵能活化。
b.化學反應的清洗：利用H2、O2等活躍性氣體的特性，使之發生還原反應或形成多鍵結構的活性官能團，進行表麵改性，提高親水性等。
例1：O2＋e- →2O*＋e- O*＋有機物→CO2＋H2O
從反應式可見，氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2O和CO2。
例2：H2＋e- →2H*＋e- H*＋非揮發性金屬氧化物→金屬＋H2O
從反應式可見，氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表麵氧化層，清潔金屬表麵。
c.物理化學反應的清洗：根據需要通入不同組合的工藝氣體，例如Ar、H2混合氣，其效果既有良好的選擇性、清洗性、均勻性，又有較好的方向性。
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