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    產品特點

    1、支持4/6/8英寸晶圓及切割環   
    2、2500萬像素分辨率,AI深度神經網絡加持     
    3、自動光學對焦、位置矯正、物鏡切換
    4、簡易程式製作,減輕操作人員負擔
    谘詢熱線:400-816-9009

    產品參數

    型號 Wafer AOI係列
    測試對象 支持4/6/8英寸晶圓及切割環
    載台 微孔陶瓷X/Y/R
    相機像素 2500萬像素高分辨率
    可檢測平麵 AI深度神經網絡加持
    顯微鏡光學係統 5輪物鏡轉換器,配備2X,5X,10X,20X顯微物鏡
    光學模式 自動光學對焦,自動位置矯正,自動物鏡切換
    計算效率 多服務器分布式計算提速
    控製方式 簡易程式製作,減輕操作人員負擔
    圖像係統 彩色圖像Review係統
    擴展升級 擴展兼容12英寸晶圓及切割環
    注:以上參數僅供參考,本公司可能對相關產品參數進行調整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。
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    工作原理

    AOI檢測技術應運而生的背景是電子元件集成度與精細化程度高,檢測速度與效率更高,檢測零缺陷的發展需求,其最大優點是節省人力,降低成本,提高生產效率, 統一檢測標準和排除人為因素幹擾,保證了檢測結果的穩定性,可重複性和準確性,及時發現產品的不良,確保出貨質量。
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    應用領域

    適用於晶圓後道工序外觀檢測   
    精準檢測晶圓圖形/蝕刻不良、崩邊/缺邊、劃傷/切割破損、異物、破損、髒汙等缺陷
    快速反應,專業配合,精心打造服務生態鏈
    1年質保,終身維護,提供配套服務
    承諾到達現場的時限:昆山4小時,蘇州8小時,江浙滬24小時,其他區域48小時
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    榮譽資質

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